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超穩定緊湊型光學(xué)差分激光干涉儀專(zhuān)為必須長(cháng)時(shí)間執行高度穩定的長(cháng)度測量的應用而設計。緊湊的傳感器設計即使在狹窄的空間內也能實(shí)現長(cháng)期穩定的調整和放置，因此精密測量系統非常適合用作閉環(huán)控制回路的激光尺。